HVAC系統中的流量測量可以用于監測系統的運行狀態，進而提高系統的運行效果與效率，并對可能的故障進行及時的診斷。

圖一 FS7  流量傳感器

FS7 流量傳感器的開發理念是易于用戶集成的，用于 HVAC 應用的熱式流量傳感器。 通過一個具有雙電阻結構的單芯片，在簡單電路中實現恒定風速計原理的測量。將芯片直接插入氣流中，即可以獲得很高的靈敏度。可以在 0 m／s 至 25 m／s 或更高的典型 HVAC 風管流速范圍內進行測量。FS7 的高靈敏度特點不僅很好適應 0 m／s 至 2 m／s 的低流速測量，同時兼顧了很寬的動態范圍，FS7最高可以測量100 m／s 的流速。

FS7 的常見應用包括：經典的風管流量變送器，與空氣凈化器結合用于過濾器監測， 高性能應用包括吸入火災探測器和壓縮空氣質量流量計。

圖二 SFS01 硅流量傳感器

圖三 MFS02

瑞士IST 熱式質量流量傳感器MFS02 和 SFS01傳感器芯片的設計目標是實現超快速和超靈敏的流量測量，同時為 HVAC 系統中電池供電的流量計量設備提供解決方案。 MFS02 使用玻璃基板開發而 SFS01 使用硅基板，流量測量器件位于芯片組件中的薄膜上，這允許利用非常小的熱質量進行流量測量，并且使得傳感器具有極快的相應速度：MFS02 的響應時間小于 10 ms，SFS01 的響應時間小于 5 ms，還可以通過低至 5 mPa 的無噪聲分辨率實現差壓應用中的超靈敏測量。傳感器集成在正壓送風系統，過濾器監控，真空手套箱，微流體氣體，電池供電設備中。