韓國本土開發首款EUV光刻膠通過三星可靠性測試
2021-12-21
來源：ETNews
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12月21日消息，韓國光刻膠供應商東進世美肯(Dongjin Semichem)表示，近日通過了三星電子的EUV光刻膠可靠性測試（合格）。這款光刻膠為雙方合作研發，打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應商的局面，最快有望明年上半年向產線批量供應。
據ETNews報道，業內人士表示，“東進世美肯在其位于京畿道的華城工廠開發了EUV光刻膠，并在三星電子的華城EUV生產線進行了測試，最終獲得了資格。”并補充道：“兩家公司的合作，使得EUV光刻膠能夠以高技術水平快速開發。”
