日前，我國戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)再傳捷報，泛半導體產(chǎn)業(yè)智能裝備生產(chǎn)企業(yè)合肥欣奕華智能機器有限公司（以下簡稱“合肥欣奕華”）開發(fā)的首臺硅基OLED蒸鍍機成功導入臺州觀宇科技有限公司（以下簡稱“觀宇科技”） 量產(chǎn)線并完成全彩點亮，這標志著我國泛半導體產(chǎn)業(yè)核心工藝裝備實現(xiàn)自主化邁入新的里程碑。

據(jù)悉，觀宇微顯示器采用無彩膜、自發(fā)光native RGB AMOLED技術，可實現(xiàn)高像素密度、高亮度、高對比度、高色彩飽和度與低功耗。作為國內(nèi)OLED裝備研發(fā)制造廠商，合肥欣奕華成功為其完成了核心工藝設備——硅基OLED蒸鍍機的開發(fā)攻關。這是國內(nèi)首臺全自主研發(fā)面世的硅基OLED蒸鍍機，是合肥欣奕華基于長期技術積累，攻克“卡脖子”技術難題，繼成功研發(fā)G1（可蒸鍍基板尺寸200*200mm）、G2.5（可蒸鍍基板尺寸370*470mm）OLED蒸鍍機及G6 H（可蒸鍍基板尺寸925*1500mm）蒸鍍機關鍵裝置之后的又一重大突破，也是我國泛半導體領域核心工藝裝備自主化道路上的又一里程碑。

蒸鍍機是OLED顯示器件制備環(huán)節(jié)的核心設備，蒸鍍機把有機發(fā)光材料精準、均勻、可控地蒸鍍到基板上，是推動相關技術實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的最關鍵因素，也是保障高精細度顯示產(chǎn)品順利量產(chǎn)的核心要素。合肥欣奕華通過借鑒OLED蒸鍍機研發(fā)設計經(jīng)驗，依托OLED蒸鍍機蒸發(fā)源設計和對位技術的二次創(chuàng)新，攻克了硅基OLED蒸鍍機膜厚均一性、穩(wěn)定性和微米級高精密定位技術難題。同時，對于某些特殊蒸鍍材料，通過蒸鍍趨勢模擬，開發(fā)特定的蒸發(fā)源并制定蒸鍍工藝實現(xiàn)其長期穩(wěn)定蒸鍍。

合肥欣奕華現(xiàn)擁有3萬平米的蒸鍍機研制潔凈車間，各類先進研發(fā)設備和儀器20余臺套，組建了一支國際化高端人才團隊，形成了完善的蒸鍍機技術研發(fā)體系。合肥欣奕華OLED事業(yè)部總經(jīng)理曹景博介紹：“合肥欣奕華已形成了完善的蒸鍍機相關技術研發(fā)體系，在蒸發(fā)源、真空腔體、高精密對位、封裝、工藝控制等方面相關技術水平已達到國際先進。”據(jù)了解，合肥欣奕華研發(fā)的OLED蒸鍍機已實現(xiàn)多臺銷售業(yè)績，是國內(nèi)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售走在前列的蒸鍍機制造廠商。其更以創(chuàng)新為驅(qū)動力，緊跟市場形勢，加快推進硅基蒸鍍機等新設備的研發(fā)步伐。恰如觀宇科技總經(jīng)理陸隆鳴所說：“持續(xù)勇于創(chuàng)新，保持開放合作，是公司邁向永續(xù)的基礎。”合肥欣奕華CEO張海濤表示：“公司完成了國內(nèi)首臺全自主開發(fā)的量產(chǎn)硅基蒸鍍機交付，一方面得益于我們對蒸鍍機及其關鍵裝置開發(fā)的長期技術積累，另一面得益于客戶對我們的認可和支持，是我們與客戶共同創(chuàng)新的成果。我們非常看好元宇宙帶動下硅基OLED顯示技術的未來發(fā)展，愿意持續(xù)為產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展做出我們的貢獻。”

硅基OLED顯示器件以單晶硅芯片為基底，利用IC技術，像素密度可達到2000PPI以上，精細度遠遠高于傳統(tǒng)顯示器件，可與AR/VR等設備實現(xiàn)完美契合。隨著市場應用的持續(xù)擴大，對硅基OLED微顯示產(chǎn)品的關注程度日漸提升。中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預計2023年硅基OLED市場規(guī)模有望達900億美元。近來，元宇宙熱度高居不下，AR/VR作為構建元宇宙的關鍵設備備受追捧，國內(nèi)外大型互聯(lián)網(wǎng)科技企業(yè)紛紛布局。根據(jù)國際數(shù)據(jù)公司IDC的數(shù)據(jù)，2021年第一季度中國VR產(chǎn)業(yè)市場規(guī)模超400億元，同比增長52.4%，同時有行業(yè)數(shù)據(jù)顯示，中國VR產(chǎn)業(yè)的市場規(guī)模，2023年預計將達到1051.6億元。在利好的市場前景面前，國內(nèi)相關企業(yè)近幾年紛紛加大硅基OLED相關產(chǎn)業(yè)投資，未來將帶來較大的硅基蒸鍍機需求市場空間。