打破國外壟斷，科翰龍自研晶圓打碼機 WM-SC800R 正式通過驗收
2021-09-01
來源：中電網
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近日，科翰龍自主研發的晶圓打碼機 WM-SC800R 通過驗收。
北京亦莊消息顯示，這是國內首臺通過 FAB 廠（通常指半導體工廠）驗收的具有自主知識產權的晶圓 (Wafer) ID 打碼設備。
據介紹，兩年前，WM-SC800R 就在 FAB 廠的 8 英寸集成電路晶圓生產線上進行晶圓 (Wafer) ID 軟打碼測試及試生產。檢測結果優良，該晶圓打碼機所加工的晶圓 (Wafer) ID 碼完全達到了 SEMI (半導體設備與材料的國際性組織) 標準的要求，達到了用戶關于軟打碼顆粒數的要求，完全達到了 ISO 1 級環境下的要求。
經過兩年的測驗，今年 8 月，晶圓打碼機 WM-SC800R 終于正式通過驗收。
科翰龍副總經理王向陽表示，為了打破國外公司在相關領域的長期壟斷，科翰龍利用自己的技術優勢研發了晶圓 (Wafer) ID 打碼設備。WM-SC800R 在激光器的選用、光路的設計、晶圓定位的方法、設備結構設計以及設備的整體控制及軟件編程上都是自主設計開發的，具有完全的自主知識產權。
科翰龍官網顯示，該公司致力于精密加工、激光加工及自動化技術在半導體微電子行業的應用，主要開發和制造三類產品：晶圓激光打碼設備、晶圓倒角邊拋設備、單片濕式工藝設備。
