二、光刻機行業發展政策

光刻機是芯片制造流程中不可或缺的核心設備。近年來，國家層面出臺了一系列法規和產業政策，推動國產替代進程，通過政策引導、資金扶持等方式，引導鼓勵國內光刻機企業加大研發力度和投入。

資料來源：中商產業研究院整理

三、光刻機行業發展現狀

1、光刻機占比

光刻機能夠將芯片圖案投影到硅片上，實現微小結構的制造。目前，光刻機是半導體設備中市場占比最大的產品，市場占比達24%。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

2、光刻機全球市場規模

近年來，在消費電子需求相對低迷的情況下，電動汽車、風光儲、人工智能等新需求成為半導體產業成長的新動能，全球光刻機市場規模平穩增長。根據SEMI公布的數據，2022年全球半導體設備市場規模為1076.5億美元，其中光刻機市場占比約為24%，規模達到約258.4億美元，2023年約為271.3億美元。中商產業研究院分析師預測，2024年全球光刻機市場規模將增至315億美元。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

3、光刻機銷量結構

目前，全球光刻機銷量仍以中低端產品(KrF、i-Line)為主，占比分別為37.9%和33.6%；其次分別為ArFi、ArFdry、EUV，占比分別為15.4%、5.8%及7.3%。其中，EUV是全球光刻機的重要發展方向之一，其價格遠高于其他種類的光刻機。

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4、光刻機競爭格局

光刻機市場呈現寡頭壟斷格局，前三供應商（荷蘭阿斯麥、日本佳能、日本尼康）占據絕大多數市場份額，其中，ASML市場份額占比82.1%，Canon市場份額占比10.2%，Nikon市場份額占比7.7%。國內企業中，上海微電子是目前中國第一家也是唯一一家光刻機巨頭，具備90nm及以下的芯片制造能力。根據公開數據，上海微電子光刻機出貨量此前已占到國內市場份額超過80%。

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四、光刻機行業重點企業

1、上海微電子

上海微電子成立于2002年，是中國領先的光刻設備制造商。上海微電子的光刻機產品涵蓋了從幾微米到28納米的多種技術節點，廣泛應用于集成電路、分立器件、LED等半導體領域的制造。

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上海微電子光刻機具備高精度、高效率、高速度、低能耗等技術特點。

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2、芯碁微裝

芯碁微裝從事以微納直寫光刻為技術核心的直接成像設備及直寫光刻設備的研發、制造、銷售以及相應的維保服務。芯碁微裝在直寫光刻設備領域推出了多個產品系列，如MAS系列、RTR系列、NEX系列、FAST系列、DILINE系列等，不斷進行性能升級與下游應用的拓展。芯碁微裝在直寫光刻設備領域擁有關鍵核心技術，其直寫光刻設備可應用在IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件、IC掩膜版制造、先進封裝、顯示光刻等環節。

2023年芯碁微裝營業收入達到8.29億元，同比增長27.07%，歸母凈利潤高達1.79億元，同比增長31.28%。

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PCB設備領域，芯碁微裝在2023年實現5.9億元營收，占比總營收71.16%，逆勢增長11.94%，毛利率為35.38%。泛半導體業務方面，芯碁微裝同樣表現出色，營收達到1.88億元，占比總營收的22.71%，同比大幅增長96.91%，毛利率則為57.62%。

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3、華卓精科

華卓精科主營業務為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備整機以及關鍵部件等衍生產品的研發、生產以及銷售和技術服務。公司在光刻機雙工件臺技術方面取得了重要突破，并成功研制出國產光刻機雙工作臺系統，打破了國外在這一領域的技術壟斷。

華卓精科的光刻機雙工件臺是其核心產品之一，具有高速運動、高精度定位和高穩定性等特點。公司推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件臺，分別適用于干式步進式掃描光刻機和浸沒式光刻機。

4、大族激光

大族激光在光刻機領域擁有自主研發的核心技術，其光刻機項目分辨率在3~5微米，主要聚焦分立器件和LED領域的應用。大族激光的光刻機產品線相對豐富，包括不同型號和規格的光刻機設備，以滿足不同客戶的需求。大族激光的光刻機主要應用于分立器件、LED等領域，市場定位較為明確。同時，公司也在積極探索和拓展其他領域的應用，如半導體封裝等。

2023年大族激光實現營業總收入140.9億元，同比下降5.82%；歸母凈利潤8.20億元，同比下降32.47%。

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