5月12日，有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司目前半導體設備產能是否能滿足目前的訂單需求？二季度訂單交付是否受到疫情影響？

至純科技表示，目前訂單需求旺盛，公司從2021年開始就已經制定并執行增產計劃，目前順利推行；短期內可以滿足訂單高速增長的情況；公司半導體設備目前生產制造主要在南通，受到疫情的影響相對較小，二季度交付目前看來影響相對較小。

4月29日，至純科技發布年度業績報告稱，2021年營業收入20.84億元，同比增加49.18%；歸屬于上市公司股東的凈利潤2.82億元，同比增加8.12%。

至純科技表示，營收同比增長，主要系公司半導體板塊業務增長的收入貢獻，包括半導體制程設備業務、工藝支持設備業務及高純工藝系統服務業務等；凈利潤同比增長主要系公司收入規模整體增加所致。