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- 俄羅斯自研光刻機目標：2024年量產(chǎn)350nm，2026年量產(chǎn)65nm！
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- 有點搞笑了，佳能5nm納米壓印技術，也離不開EUV光刻機
- 不用光刻機，如何制造5nm芯片？
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