國內顯示產業依托政策支持與技術迭代，不斷向高端領域升級，產能擴張正催生更龐大的上游設備市場。

國內顯示制程設備起步較晚，從非關鍵制程領域逐步突破

面板制造工藝可以大致分為Array（陣列） 、Cell（成盒） 、Module（模組） 三個環節，其中Module段TFT-LCD與OLED的工藝設備需求大致相同，主要包括邦定、貼合、點膠和檢測以及其他設備。Module段制程設備的精密度要求相對較低，技術門檻也較低，是國內設備企業最早進入的領域，率先實現了較高的國產化率，近年來Module段制程設備幾乎可實現國產全替代，國產化率超85%。

而在中段Cell成盒工藝中，TFT-LCD與OLED的制程差異較大，TFT-LCD的Cell制程設備包括PI涂覆設備、定向摩擦設備、液晶滴下設備、基板對位壓合設備等一系列液晶制程相關設備，而OLED由于采用有機材料制作自發光RGB子像素，在工藝流程上引入了蒸鍍設備、噴墨打印設備以及薄膜封裝設備等。其中最為核心的蒸鍍設備長期由Canon Tokki（日）壟斷。由于國內相關上游產業鏈起步較晚，且面板行業后續建廠以OLED為主，相對TFT-LCD Cell段設備難度更高，而設備的開發往往需要投入大量資金且研發周期較長，導致該領域設備國產化率較低。

前段Array陣列工藝是顯示面板制造的核心環節，直接決定像素驅動的精度、顯示分辨率及面板性能的穩定性。Array段作為TFT陣列的構建基礎，需通過多道精密光刻、薄膜沉積及蝕刻工藝，在玻璃基板上形成復雜的微米級電路結構。Array陣列的工藝復雜度和設備投資成本都是三段制程中最高的，也是顯示面板良率與量產能力的關鍵瓶頸。而在前段Array陣列工藝上，TFT-LED和OLED工藝和設備大致相同，由于OLED采用LTPS（低溫多晶硅） TFT背板，相較于傳統a-Si（非晶硅）、Oxide（氧化物） TFT-LCD的Array制程，除了曝光設備、涂膠顯影設備、沉積設備、刻蝕設備、清洗設備、量檢測設備外，還增加了激光結晶設備和離子摻雜設備。

圖示：顯示面板各制程設備國產化率及投資占比來源：CINNO Research整理

另外，Array段基本工藝流程與半導體晶圓工藝流程大體相似，核心設備的制造商也高度重合，市場份額集中于美日韓企業，整體國產化率長期低于20%。特別在關鍵的曝光設備、氣相沉積設備、干刻設備、蒸鍍設備等核心工藝制程設備中，國產化率幾乎為零。曝光設備集中在佳能（日）、尼康（日）等設備商，氣相沉積設備集中在AMAT（美）、TEL（日）等設備商，干刻蝕設備集中在AMAT（美）、TEL（日）等設備商。

不過，在Array段其他制程設備上，例如濕刻相關制程領域，國產替代率已經從2020年不到10%的水平提升至2024年約40%左右，取得了長足的進步。而在Array檢測設備，國產化率已從2020年的近10%提升至2024年近50%。國產設備廠正從非關鍵設備領域逐步突破。而在顯示市場之外，半導體市場技術上的相似性也為這些前段設備企業提供了更廣闊的市場和技術升級空間。

圖示：新型顯示面板濕制程設備及Array檢測設備國產化率來源：CINNO Research整理

Array AOI檢測設備等細分領域，已形成國內設備廠商優勢市場

Array檢測設備是專門用于顯示面板制造中Array段關鍵層質量的設備，涵蓋了從薄膜沉積到圖案化等工序的各種檢測需求，包括光學檢測、電性能檢測、厚度測量、反射率及透過率測試、缺陷分析等。通過在工藝制程中進行各種功能檢測，從而保證各段生產制程的可靠性和穩定，達到分辨各環節產品良品與否，提升產線整體良率的目的。可以認為，Array檢測設備是面板生產中保證良率的不可缺少的重要設備。

AOI檢測全稱自動光學檢測，是一種基于光學原理利用機器視覺替代人工目檢的檢測技術，主要用于檢測玻璃基板上的短路，斷路以及微小缺陷，該設備的技術難點在于如何清晰抓取圖像，并快速與數據庫缺陷進行對比并準確指出缺陷類型大小。

該細分設備領域與其他檢測設備情況類似，過去長期由國外企業主導。根據CINNO Research統計數據顯示，2020年中國大陸Array AOI的設備市場主要由Orbotech（以色列）、HBT（韓）等外資品牌主導，其中Orbotech憑借深厚的技術和客戶積累，占據超40%的市場，中國本土設備商的市場份額不到8%。自2018年開始，中美貿易戰拉開序幕，美國對中國高科技產業展開全方位打壓，意圖遏制中國在科技領域的崛起勢頭，至此供應鏈安全日益受到重視，產業鏈上下游的協同發展更加緊密，面板廠也開始大力支持設備國產化替代。AOI成為這一大背景下，國內設備廠商突圍的一個縮影。

國內設備商中導光電成立于2006年，是一家有海歸資深專家團隊創立的國內平板顯示和半導體晶圓檢測設備企業，迄今已在相關領域深耕近二十年，擁有深厚的產業積淀。中導光電公司的平板顯示檢測設備形成了完整的產品家族，檢測靈敏度達到亞微米級，是國內平板顯示前段制程高端檢測裝備“中國解決方案”的主力軍。

在全行業大力推進設備國產化的風口上，中導光電敏銳抓住機遇，與面板廠協同驗證，通過1~2年的驗證改善，不斷提升設備性能，在設備的分辨率、檢測精度及檢測速度上已達到國外設備商同等技術水準，同時多年的技術鉆研及積累了巨量且多樣的Defect數據庫，靈活且穩定的軟件算法模式，可快速應用實際產線的檢測需求，提升平板顯示制造廠商的產品良率和產出經濟效益。

在2022年中導光電厚積薄發，業績實現爆發性增長，企業多次獲得京東方、TCL華星、天馬微電子、信利等國內多家主要平板顯示制造企業的復購訂單。2024年中導光電在中國大陸面板行業Array AOI的市場份額超過了70%，穩居行業排名第一。Orbotech的市場份額急劇萎縮至6%左右，這也直接導致了Orbotech在2024年評估后宣布在2024年年底退出面板市場。 

而在平板顯示行業獲得如此成績后，下一步公司計劃進一步向半導體晶圓檢測領域進軍。目前中導光電半導體晶圓檢測設備檢測靈敏度最高達到30nm，成功獲得重要客戶的復購訂單，公司正在加快步伐，積極布局，進一步鞏固和擴大在半導體檢測領域的市場地位。

圖示：2020~2024年中國大陸面板行業Array AOI設備商市場份額來源：CINNO Research整理

中導光電的發展歷程是我國自主設備領域發展的一個縮影。根據CINNO Research統計數據，2024年全球TFT-LCD和AMOLED面板產值合計達到1,200億美元，其中中國大陸面板企業產值約為575億美元，占全球比重達48%，并且這一比例還有逐年升高趨勢，是名副其實的全球面板顯示制造中心。有如此巨大的下游資源帶動，目前我國光電顯示產業鏈部分核心材料與設備已能夠逐步實現國產化，部分高精尖領域仍依賴進口。而與材料行業相比，設備行業更加需要長期持續的投入。與國際設備巨頭相比，國內設備公司起步較晚，依托下游支持與不懈努力，在一些細分領域能夠快速取得不俗的成績，甚至做到領先地位，不過與國際一線供應商數十年長線經營的結果相比，規模上仍存在巨大差距，根基尚淺。下一步聚焦半導體行業正成為許多相關企業的共識。