2024年中國半導體設備產業鏈圖譜研究分析（附產業鏈全景圖）

2024-06-06 來源：中商產業研究院

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中商情報網訊：我國在全球半導體中的產能份額持續增加，疊加終端需求復蘇、國內晶圓廠成熟制程招標采購推進，這些將促使半導體設備行業繼續在國產替代的大背景下延續高景氣。

一、產業鏈

中國半導體設備產業鏈上游為零部件及系統，零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環、反應腔噴淋頭、泵、陶瓷件、射頻發生器、機械臂等，核心子系統包括氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學系統、電源及氣體反應、熱管理系統、晶圓傳送系統、集成系統；中游為各類半導體設備，主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、真空鍍膜設備、清洗設備、離子注入設備、涂膠顯影設備、CMP設備、熱處理設備等；下游應用于半導體制造。

圖片來源：中商產業研究院

二、上游分析

1.軸承

（1）產量

軸承是數控機床設備中的一種重要零部件，主要起支撐機械旋轉體，降低摩擦系數，并保證回轉精度的作用。軸承行業是我國重點發展的戰略性基礎產業，我國軸承產量呈現增長的趨勢。中商產業研究院發布的《2024-2029中國主軸軸承市場現狀及未來發展趨勢》顯示，2023年中國軸承產量約275億套，較上一年增長6.18%。中商產業研究院分析師預測，2024年中國軸承產量將達到296億套。

數據來源：中國軸承工業協會、中商產業研究院整理

（2）競爭格局

從競爭格局來看，我國軸承市場中，斯凱孚(SKF)、舍弗勒(Schaeffler)、恩斯克(NSK)、捷太格特(JTEKT)、恩梯恩(NTN)、鐵姆肯(TIMKEN)、日本美蓓亞(NMB)、不二越(NACHI)八大國際軸承企業占據主導地位，且主要集中于高端市場。本土軸承企業規模普遍不大，行業集中度低，人本集團、萬向錢潮、浙江天馬、瓦房店軸承、洛陽LYC軸承、五洲新春六家企業合計占比24.10%。

數據來源：中商產業研究院整理

3.傳感器

（1）市場規模

智能傳感器是具有信息采集、信息處理、信息交換、信息存儲功能的多元件集成電路。中商產業研究院發布的《2024-2029年中國傳感器市場調查研究報告》顯示，2022年中國傳感器市場規模為3096.9億元，2019-2022年的年均復合增長率為12.26%，2023年市場規模約為3324.9億元。中商產業研究院分析師預測，2024年中國傳感器市場規模將達到3732.7億元。

數據來源：中商產業研究院整理

（2）重點企業分析

在我國傳感器企業中，大立科技是少數能夠獨立研發、生產紅外熱成像相關核心芯片，機芯組件到整機系統全產業鏈完整的高新技術企業，旗下傳感器業務占比高達90%以上，主要生產紅外溫度成像傳感器；華工科技是全球有影響力的傳感器系統解決方案提供商，傳感器產品主要應用于智慧出行、智慧家庭、智慧醫療、智慧城市等領域，具有較強的競爭優勢。

資料來源：中商產業研究院整理

3.機械臂

（1）市場規模

中國機械臂市場規模近年來呈現出顯著的增長趨勢。中商產業研究院發布的《2024-2029年中國機械臂市場前景及投資發展戰略研究報告》顯示，2022年我國機械臂市場規模接近178.3億元，同比增長6.26%，2023年市場規模增至186.4億元。隨著全球制造業升級和自動化需求的推動，機械臂在汽車制造、電子制造、物流倉儲等領域的應用將持續擴大。中商產業研究院分析師預測，2024年中國機械臂市場規模將達193.4億元。

數據來源：中商產業研究院整理

（2）重點企業分析

中國機械臂市場的主要參與者為本土企業、國際知名企業。新松機器人、埃斯頓自動化、大族激光等本土企業，不僅在機械臂的設計、研發和生產方面擁有強大的實力，還在市場推廣和品牌建設上取得了顯著成果。此外，中國機械臂市場還吸引了眾多國際知名企業的參與。ABB、發那科、安川電機等是全球機械臂市場的領軍企業，在中國市場也占有一席之地。這些企業憑借其深厚的技術積累和全球布局，在中國機械臂市場上展現出強大的競爭力。

資料來源：中商產業研究院整理

4.主要零部件

半導體設備的主要零部件中，國外企業占據了較大份額，這主要與國際廠商的市場主導地位以及國內企業在技術、質量和品牌等方面的不足有關。具體如圖所示：

資料來源：中商產業研究院整理

5.核心子系統

半導體設備的關鍵子系統主要分為8大類，可分為：氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學系統、電源及氣體反應系統、熱管理系統、晶圓傳送系統、集成系統，每個子系統亦由數量龐大的零部件組合而成。

資料來源：中商產業研究院整理

三、中游分析

1.半導體設備市場規模

半導體設備是半導體產業的先導、基礎產業，具有技術壁壘高、研發周期長、研發投入高、制造難度大、設備價值高、客戶驗證壁壘高等特點，是半導體產業中最難攻克卻至關重要的一環。中商產業研究院發布的《2024-2029年中國半導體設備行業市場供需趨勢及發展戰略研究預測報告》顯示，2023年中國半導體設備市場規模約為2190.24億元，占全球市場份額的35%。中商產業研究院分析師預測，2024年中國半導體設備市場規模將達2300億元。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

2.半導體設備市場結構

從細分產品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，市場占比均在20%以上。其中，光刻機的市場占比為24%、刻蝕機、薄膜沉積設備市場占比均為20%。此外，測試設備和封裝設備的市場占比分別為9%、6%。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

3.光刻機

（1）全球市場規模

近年來，在消費電子需求相對低迷的情況下，電動汽車、風光儲、人工智能等新需求成為半導體產業成長的新動能，全球光刻機市場規模平穩增長。根據SEMI公布的數據，2022年全球半導體設備市場規模為1076.5億美元，其中光刻機市場占比約為24%，規模達到約258.4億美元，2023年約為271.3億美元。中商產業研究院分析師預測，2024年全球光刻機市場規模將增至315億美元。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

（2）競爭格局

光刻機市場呈現寡頭壟斷格局，前三供應商（荷蘭阿斯麥、日本佳能、日本尼康）占據絕大多數市場份額，其中，ASML市場份額占比82.1%，Canon市場份額占比10.2%，Nikon市場份額占比7.7%。國內企業中，上海微電子是目前中國第一家也是唯一一家光刻機巨頭，具備90nm及以下的芯片制造能力。根據公開數據，上海微電子光刻機出貨量此前已占到國內市場份額超過80%。

數據來源：中商產業研究院整理

4.刻蝕設備

（1）全球市場規模

中商產業研究院發布的《2024-2029年全球蝕刻機市場前景及投資機會研究報告》顯示，2022年全球刻蝕設備市場規模達139.9億美元，同比增長6.3%，2023年約為148.2億美元。受終端應用市場蓬勃發展、及半導體制造技術升級驅動，中商產業研究院分析師預測，2024年全球刻蝕設備市場規模將增長至151.8億美元。

數據來源：中商產業研究院整理

（2）重點企業分析

中國刻蝕機主要生產企業有北方華創、中微公司、中國電科、北京創世威納科技、屹唐半導體、北京金盛微納科技及世源等。

資料來源：中商產業研究院整理

5.涂膠顯影設備

（1）市場規模

隨著下游終端需求的擴大，涂膠顯影設備市場規模增長顯著。中商產業研究院發布的《2024-2029年中國半導體設備行業市場供需格局及發展前景預測報告》數據顯示，2022年中國涂膠顯影設備市場規模為11.1億元，同比增長18.1%。中商產業研究院分析師預測，2024年我國涂膠顯影設備市場規模將增至15.3億元。